设备由于是在一个腐蚀的环境,湿法去胶清洗机的排风方式,台面下抽风,每套工艺清洗槽都有,自动开闭的槽盖,槽盖下有单独的抽风装置。
设备结构外型,整机主要由机架、工艺槽体、机械手传输系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。.
由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处理:
(1) 设备机架采用钢结构骨架包塑;
(2) 壳体采用镜面SUS316L不锈钢焊接,制程区由耐腐蚀的SUS316L板材组合焊接而成:
(3) 电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区完全隔离;
(4) 槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;
(5) 机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理。
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