工艺测试机

中道湿法机台

TDW1200/800/600
W 型产品
W 型架构产品满足半导体湿法清洗工艺生产需要，单元模块环绕 Robot 设计，可选配多种湿法清洗功能部件，满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED 等不同清洗工艺生产的客户需求

　　W 型架构产品满足半导体湿法清洗工艺生产需要，单元模块环绕 Robot 设计，可选配多种湿法清洗功能部件，满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED 等不同清洗工艺生产的客户需求。
　　. 适用于 6 英寸，8 英寸或 12 英寸产品
　　. 基材：硅晶圆、玻璃等
　　. 适用于 single wafer 湿法清洗工艺产品生产
　　. 模块化的单元便于维护
　　. 图形化的人机交互界面

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